Υπάρχουν τρία στάδια στη διαδικασία της φυσικής εναπόθεσης ατμών (PVD): Εκπομπή σωματιδίων από πρώτες ύλες. Τα σωματίδια μεταφέρονται στο υπόστρωμα· Τα σωματίδια συμπυκνώνονται, σχηματίζουν πυρήνες, αναπτύσσονται και φιλμ πάνω στο υπόστρωμα.

Η χημική εναπόθεση ατμών (CVD), όπως υποδηλώνει το όνομα, χρησιμοποιεί αέρια πρόδρομα αντιδραστήρια για να σχηματίσει στερεές μεμβράνες μέσω ατομικών και μοριακών χημικών αντιδράσεων. Αξίζει να σημειωθεί ότι η χημική εναπόθεση ατμών (CVD) χρησιμοποιείται ευρέως στην υψηλής ποιότητας κρυσταλλική επιταξία ημιαγωγών και στην παρασκευή διαφόρων μονωτικών μεμβρανών. Για παράδειγμα, στο MOS FET, οι μεμβράνες που εναποτίθενται από το CVD περιλαμβάνουν πολυκρυσταλλικό Si, SiO2, sin, κ.λπ.