E toru nga wahanga i roto i te tukanga o te whakaheke kohu tinana(PVD): Te tuku matūriki mai i nga rawa mata; Ka haria nga matūriki ki te tïpako; Ko nga matūriki ka whakamatao, te karihi, te tipu me te kiriata i runga i te tïpako.

Ko te whakahekenga kohu matū (CVD), e ai ki te ingoa, ka whakamahi i nga tauhohenga haurehu kamaka hei hanga kiriata totoka na roto i nga tauhohenga matū ngota me te ngota. He mea tika kia whakahuahia ko te whakamaarama matū matū (CVD) e whakamahia whānuitia ana i roto i te epitaxy karaihe semiconductor kounga teitei me te whakarite i nga momo kiriata whakamaarama. Hei tauira, i roto i te MOS FET, ko nga kiriata i tukuna e CVD ko te polycrystalline Si, SiO2, hara, etc.