E tolu la'asaga i le fa'agasologa o le fa'aputuina o le ausa fa'aletino (PVD): Fa'auluina o vaega mai mea mata'utia; O fasimea o loʻo feaveaʻi i le meaʻai; O meaʻai e faʻapipiʻi, nucleate, tupu ma ata i luga o le meaʻai.

O le fa'aputuina o ausa vaila'au (CVD), e pei ona ta'u mai e le igoa, e fa'aogaina ai mea fa'aoso kasa e fa'atupu ai ata malō e ala i gaioiga fa'aatomeki ma mole mole. E taua le taʻua o le faʻaogaina o le ausa vailaʻau (CVD) e faʻaaogaina lautele i le maualuga o le semiconductor crystal epitaxy ma le sauniuniga o ata tifaga eseese. Mo se faʻataʻitaʻiga, i le MOS FET, o ata na teuina e CVD e aofia ai polycrystalline Si, SiO2, agasala, ma isi.