Awọn ipele mẹta lo wa ninu ilana ti ifisilẹ oru ti ara (PVD): Ijadejade ti awọn patikulu lati awọn ohun elo aise; Awọn patikulu naa ti gbe lọ si sobusitireti; Awọn patikulu condens, nukleate, dagba ati fiimu lori sobusitireti.

Iṣagbejade orule kemikali (CVD), gẹgẹbi orukọ naa ṣe tumọ si, nlo awọn ifasilẹ iṣaju gaseous lati ṣe awọn fiimu ti o lagbara nipasẹ atomiki ati awọn aati kemikali molikula. O tọ lati mẹnuba pe ifisilẹ oru kẹmika (CVD) ni lilo pupọ ni epitaxy semikondokito gara-giga ati igbaradi ti ọpọlọpọ awọn fiimu idabobo. Fun apẹẹrẹ, ni MOS FET, awọn fiimu ti CVD ti wa ni ipamọ pẹlu polycrystalline Si, SiO2, sin, ati bẹbẹ lọ.